高純大流量過濾器_高純電子氣特氣精密過濾器
半導(dǎo)體制造中，工藝氣體的高流量供應(yīng)與超高純度保障同樣重要。深圳恒歌 BF 系列大流量過濾器，以創(chuàng)新設(shè)計實現(xiàn)二者的完美平衡。?
作為大流量過濾器的代表，其多柱狀或疊盤狀介質(zhì)結(jié)構(gòu)大幅提升流通效率，滿足高產(chǎn)能生產(chǎn)線的氣體需求。同時，0.003μm 的超高過濾精度，確保氣體中微量顆粒被高效攔截，為光刻、刻蝕等關(guān)鍵制程提供純凈氣源。全 316L 不銹鋼構(gòu)造賦予產(chǎn)品優(yōu)異的耐高溫、耐高壓與耐腐蝕性能，即使在高溫動態(tài)環(huán)境下也能穩(wěn)定運行。每臺過濾器均經(jīng)過 100% 完整性測試和氨氣檢漏測試，確保在潔凈室環(huán)境中可靠工作，有特殊需求可定制加工，適配不同場景的安裝與運行要求。?
產(chǎn)品特點：?
●?大流量設(shè)計，適配高產(chǎn)能生產(chǎn)?
●?0.003μm 超高過濾精度，保障氣體純度?
●?全 316L 不銹鋼材質(zhì)，適應(yīng)嚴(yán)苛環(huán)境?
●?耐高溫高壓，穩(wěn)定性強?
●?100%出廠檢測，品質(zhì)可靠?
●?支持定制加工，滿足特殊需求?
